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—微納結(jié)構(gòu)及成分分析平臺(tái)


包括透射電子顯微鏡(TEM)、二次離子質(zhì)譜儀(SIMS)和原子力顯微鏡(AFM)等 。可進(jìn)行微納形貌、結(jié)構(gòu)和化學(xué)組成的分析與表征,點(diǎn)、線結(jié)構(gòu)分辨率可小于1nm,三維結(jié)構(gòu)極限分辨率小于1μm;成分分辨率探測(cè)極限可達(dá)ppm-ppb級(jí)的。